中文名:手动气体配比装置 英文名:SSGM-2E
特点:
1、 一种经济实用的气体混合装置,其广泛应用于汽车、石油、环保等行业,结构成熟、性能稳定可靠。
2、 系统功能强,气体混合精度高,可以同时控制多种气体的流量和浓度。后期可拓展性也强,能在此基础上,做自动化控制的二次开发,减少浪费。
3、 使用范围广,能满足各种气体介质的使用。相对于自动型的装置设计成本、制造成本、使用成本都较低,价格都很经济实惠。
总结:目前使用在电子工艺设备,如扩散、外延、氧化、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、催化装置、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器等行业中。